玻璃微流控芯片在许多领域已经得到较广泛的应用,但目前的加工需要繁琐的步骤及昂贵的设备进行图形转移及金属牺牲层开窗口.本文提出一种快速制作金属牺牲层图形窗口以用于玻璃微流控芯片加工的方法.以CO2激光直写加工PET膜模板,微细电解加工玻璃基片上的铬/金牺牲层快速获得窗口,湿法腐蚀及热键合制作玻璃微流控芯片.结果表明该法可在10秒内开窗口,电解加工过程使用的模板厚度、电解液组成及施加的压力与电压对窗口的质量都有显著影响.加工的微通道宽度为145μm,边缘整齐,宽度均匀,相对标准偏差为3.72%,深度μm,底部平整度高,并成功用于氨基酸混合液的芯片毛细管电泳分离.同时使用该方法加工的金微电极阵列,电极宽度为100μm,最小间距可达100μm.
参考文献
| [1] | Dittrich P S;Tachikawa K;Manz A .Micro Total Analysis Systems.Latest Advancements and Trends[J].Analyticsl Chemistry,2006,78(12):3887-3908. |
| [2] | 方肇伦.浅谈微流控分析系统应用中面临的机遇和挑战[A].武汉:中国化学会,2005 |
| [3] | 罗怡,娄志峰,褚德南,刘冲,王立鼎.玻璃微流控芯片的制作[J].纳米技术与精密工程,2004(01):20-23. |
| [4] | 殷学锋,沈宏,方肇伦.制造玻璃微流控芯片的简易加工技术[J].分析化学,2003(01):116-119. |
| [5] | Simpson P C;Woolley A T;Mathies R A .Microfabrication Technology for the Production of Capillary Array Electro-phoresis Chips[J].Biomedical Microdevices,1998,1(01):7-25. |
| [6] | Datta M. .FABRICATION OF AN ARRAY OF PRECISION NOZZLES BY THROUGH-MASK ELECTROCHEMICAL MICROMACHINING[J].Journal of the Electrochemical Society,1995(11):3801-3805. |
| [7] | Shenoy R V;Datta M;Romankiw L T .Investigation of is-land formation during through-mask electrochemical mi-cmmachining[J].Journal of the Electrochemical Society,1996,143(02):306. |
| [8] | 王明环,朱荻,徐惠宇.提高微细电解加工精度的研究[J].电加工与模具,2005(03):30-32,36. |
| [9] | 朱荻,王明环,明平美,张朝阳.微细电化学加工技术[J].纳米技术与精密工程,2005(02):151-155. |
| [10] | Wang SC;Lee CY;Chen HP .Thermoplastic microchannel fabrication using carbon dioxide laser ablation[J].Journal of chromatography, A: Including electrophoresis and other separation methods,2006(2):252-257. |
| [11] | Jia ZJ;Fang Q;Fang ZL .Bonding of glass microfluidic chips at room temperatures[J].Analytical chemistry,2004(18):5597-5602. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%