MEMS微型双稳态电磁继电器的设计

功能材料与器件学报 , 2008, 14(2): 500-503. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.048

MEMS微型双稳态电磁继电器的设计

李慧娟 ^1, , 尤政 ^2, , 张高飞 ^3, , 杨建中 ^4,

1.清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084

2.清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084

3.清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084

4.清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084

关键词：微机械系统 , 微继电器 , 平面螺旋线圈 , 微机械加工工艺

A fast and low power consuming double stability MEMS microrelay

本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点,采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法,研制了一种快速低功耗MEMS微型双稳态继电器结构,其尺寸约为3mm*4.5mm*1.5mm,文中着重分析其工作原理和过程.经过分析,该继电器在通电电流80～120mA时,开关时间约在0.1ms～0.2ms之间,因此,其具有体积小、开关速度快、低功耗等优点,并且易于集成和阵列,适用于能源有限并且可靠性要求高的微型航天器以及便携设备中.

参考文献

[1]	Wagner B;Kreutzer M;Benecke W .Microfabricated actu-ator with moving permanent magnet[J].Journal of Microelectromechanical Systems,1993,2(01):23-29.
[2]	Zhilin Huang;Jim Shen .Latching Micromagnetic Optical Switch[J].Journal of Microelectromechanical Systems: A Joint IEEE and ASME Publication on Microstructures, Microactuators, Microsensors, and Microsystems,2006(1):16-23.

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A fast and low power consuming double stability MEMS microrelay

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