LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系.利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验,获得了其应力一应变曲线,通过数据处理和分析,获得了LIGA电铸镍的弹性模量、屈服极限以及断裂极限,并和纳米压痕仪测得的数据进行了对比,两者有较好的一致性.
参考文献
| [1] | 伊福廷 .LIGA技术研究[D].中国科学院高能物理研究所,2000. |
| [2] | K.Kataoka;T.Itoh;K.lnoue.MULTI-LAYER ELECTROPLATED M1CRO-SPRING ARRAY FOR MEMS PROBE CARD.Micro Electro Mechanical Systems,2004[A].,2004:733-736. |
| [3] | William N.Sharpe;David A.LaVan;Richard L.Edwards.Mechanical properties of LIGA-deposited nickel for MEMS transducers[A].,1997:607-610. |
| [4] | E.Mazza;S.Abel;J.Dual.Experimental Determination of Mechanical Properties of Ni and Ni-Fe Microbars[J].Microsystem Technologies,1996(02):197-202. |
| [5] | Hemker K J;Last H.Microsample tensile testing of LIGA nickel for MEMS applications[J].Materials Science and Engineering,2001(A319-321):882-886. |
| [6] | 朱强,蒋庄德,赵则祥,王海容,杨树明.在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的影响因素分析[J].稀有金属材料与工程,2005(11):1842-1845. |
| [7] | 陈吉安,杨春生,周勇,丁桂甫,王莉,王明军,张亚民,张泰华.微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究[J].微细加工技术,2003(03):66-71. |
| [8] | 王滨.ASTM金属材料拉伸试样介绍[J].理化检验-物理分册,2004(09):477-480. |
| [9] | 卓卫东.应用弹塑性力学[M].北京:科学出版社,2005:63-69. |
| [10] | 张俊善.材料强度学[M].哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2004 |
| [11] | 范天佑.断裂理论基础[M].北京:科学出版社,2003 |
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