一种增磁装置在磁控射频溅射制备薄膜中的应用

1.北京印刷学院基础部,北京,102617;北京航空航天大学物理学院,北京,100083

2.北京航空航天大学物理学院,北京,100083

3.北京航空航天大学物理学院,北京,100083

4.北京航空航天大学物理学院,北京,100083

5.北京航空航天大学物理学院,北京,100083

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973)项目(2007CB936300)

Application of a apparatus increasing magnetic field in magnetron R.F.depositing films

为提高射频溅射成膜率,本文报道了一种配置于磁控溅射装置的射频(RF)增磁装置.基于此装置的实验结果表明,在不对原有装置作任何改动的情况下,在完全相同的溅射参数下,采用此装置可使射频溅射成膜率增大为原来的4倍左右.进而,该装置提供了一种能有效地节省溅射制备时间,改善薄膜结构的简便易行的新型手段.

[1]	Urbano A;Ferreira F F;deCastro S C et al.Electrochromism in lithicated nickel oxide films deposited by rf sputtering[J].Electrochimica Acta,2001,46:2269-2273.
[2]	Tersio G S C;Gorenstein A;Richard L et al.Electrochromism in MoOx films characterized by X-ray electron spectroscopy[J].Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena,1999,101-103:393-400.
[3]	Virginie M M M;Paul V S .Toward solid-state switchable mirrors using a zirconium oxide proton conductor[J].Solid-State Ionicis,2001,145:1724-1730.
[4]	黄银松,章俞之,胡行方.射频反应溅射氧化铌薄膜的电致变色性能研究[J].无机材料学报,2002(03):632-636.
[5]	冯博学,谢亮,王君,蒋生蕊,陈光华.射频溅射微晶NiOxHy膜电致变色性能及其机理研究[J].物理学报,2000(10):2066-2071.
[6]	张旭苹.用作电致变色器件的LiNbO3离子导体薄膜的研究[J].光学学报,1998(06):803.
[7]	田民波.薄膜技术与薄膜材料[M].北京:清华大学出版社,2006:192.
[8]	王怀义,刁训刚,王武育,杨海刚,郝维昌,王聪,王天民.液氮冷却法全无机智能窗器件的制备及其性能研究[J].光学学报,2009(05):1424-1430.
[9]	Nguyen C;Ashrit P V;Bader G et al.Electrical and optical properties of Li-doped LiBO2 and LiNbO3 films[J].Applied Physics,1994,76(07):4327-4332.
[10]	张金伟,刁训刚,王怀义,王天民,武哲,舒远杰.ITO/WO3/LiTaO3/NiOx/ITO全固态电致变色器件的制备及性能研究[J].稀有金属材料与工程,2008(09):1688-1692.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分