α-Si1-xCx:H薄膜材料的弹性反冲探测分析

原子核物理评论 , 2004, 21(3): 249-252. doi: 10.3969/j.issn.1007-4627.2004.03.014

α-Si1-xCx:H薄膜材料的弹性反冲探测分析

周平 ^1, , 路秀琴 ^2, , 郭继宇 ^3, , 赵葵 ^4, , 吴伟明 ^5, , 隋丽 ^6, , 倪嵋楠 ^7, , 梅俊平 ^8, , 罗红兵 ^9, , 刘建成 ^10,

1.中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413;广西大学物理科学与工程技术学院,广西,南宁530004

2.中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413

3.中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413

4.中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413

5.广西大学物理科学与工程技术学院,广西,南宁530004

6.中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413

7.中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413

8.中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413

9.中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413

10.中国原子能科学研究院核物理所,北京,102413

基金项目: 国际原子能机构(IAEA)国际合作项目(CPR-11314)

关键词：弹性反冲探测分析 , 非晶氢化硅碳薄膜 , ΔE-E望远镜探测器

Elastic Recoil Detection Analysis of α-Si1-xCx:H Thin Films

介绍在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上, 对α-Si1-xCx∶H薄膜样品进行弹性反冲探测分析的方法和结果.用该加速器提供的高品质127I束流轰击α-Si1-xCx∶H薄膜材料样品, 用ΔE(gas)-E(PSD)望远镜探测器, 在前角区(30°角)测量从该样品中反冲的各元素的能谱.然后用离子束分析(IBA)程序SIMNRA 对能谱进行拟合, 得到样品中H, C和Si的比分及深度分布.

参考文献

[1]	容幸福, 秦志钰. 真空, 2000, 3: 10.
[2]	L'Ecuyer J, Brassard C, Cardinal C, et al. J Appl Phys,1976, 47: 381.
[3]	路秀琴, 符长波, 郭继宇等. 物理, 2001, 6: 368.
[4]	李松林, 胡晓庆, 诸永泰等. 高能物理与核物理, 1988, 12(4): 529.
[5]	Verda R D, Tesmer J R, Maggiore C J, et al. Nucl Instr & Meth, 2001, B183: 391.

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