衬底温度对机械瓣膜上沉积的类金刚石薄膜的影响

连铸, 2015, 32(4): 498-502. doi: 10.3969/j.issn.1007-5461.2015.04.018

衬底温度对机械瓣膜上沉积的类金刚石薄膜的影响

罗乐 ^1, , 蒋大鹏 ^2, , 赵读亮 ^3, , 严中亚 ^4, , 程光存 ^5, , 方晓东 ^6,

1.合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥,230009

2.合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥,230009

3.合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥,230009

4.安徽省立医院胸心外科,安徽合肥,230001

5.安徽省立医院胸心外科,安徽合肥,230001

6.中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽合肥,230031

基金项目: 安徽省自然科学基金资助(1308085MF104)

关键词：材料 , 类金刚石薄膜 , 脉冲激光沉积法 , 衬底温度 , 微观结构 , 表面形貌

Influence of substrate temperature on diamond like carbon film on mechanical heart valve

Keywords： materials , diamond like carbon film , pulsed laser deposition , substrate temperature , microstructure , topography

为掌握机械瓣膜衬底温度对类金刚石薄膜的影响规律,在实验中保持其它实验参数不变,机械瓣膜衬底温度分别取室温和150℃时,用脉冲激光沉积法在机械瓣膜上制备类金刚石薄膜.用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜的表面形貌和粗糙度进行检测.结果表明:当其它实验参数不变时,机械瓣膜衬底温度从室温升高到150℃时,薄膜的微观结构没有发生明显改变;薄膜表面的粗糙度减小.类金刚石薄膜和机械瓣膜衬底之间具有很好的黏附性.

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Influence of substrate temperature on diamond like carbon film on mechanical heart valve

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