非球面面形精细重构方法研究

连铸, 2016, 33(1): 1-7. doi: 10.3969/j.issn.1007-5461.2016.01.001

非球面面形精细重构方法研究

杨珂 ^1, , 傅东明 ^2, , 张金平 ^3, , 郑列华 ^4,

1.中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

2.中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

3.中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

4.中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

基金项目: Supported by National Program on Key Basic Research Project(国家重点基础研究发展计划, 2011CB013206)

关键词：光学检测 , 波前复原 , 三坐标测量机 , 离轴非球面

Wavefront reconstruction of aspherical surface

Keywords： optical detection , wavefront reconstruction , coordinate measuring machining , off-axis asphere

针对非球面反射镜在抛光初期干涉仪不能全口径检测面形误差的问题,提出一种三坐标测量机(CMM)和数字干涉仪组合测量以实现全口径波前复原的方法.将CMM与干涉仪测量数据组合,即面形误差以干涉测量为主,干涉检测不能复原的局部波前采用CMM测量数据进行精细重构,从而获得可用于数字化加工的全口径面形误差,并最终达到非球面镜全口径干涉检测.采用该方法对Φ为540 mm的离轴非球面反射镜在精磨后期进行数据组合补偿,成功实现了反射镜从精磨阶段到抛光阶段的全口径波前检测,从而证明了该方法对实现非球面镜全口径检测有效可行.

参考文献

[1]	程灏波;王英伟.非球面零件光学检测技术研究[J].航空精密制造技术,2004(4):8-10.
[2]	Peisen S. Huang;Xiaorong R. Xu.Design of an optical probe for surface profile measurement[J].Optical Engineering,19997(7):1223-1228.
[3]	陈曦;郭培基;王建明;仇谷烽.离轴非球面三坐标检测技术[J].光学技术,2014(04):339-344.
[4]	孔祥蕾;郝沛明;丁厚月.大相对孔径凹非球面镜的加工[J].量子电子学报,2001(1):50-55.
[5]	林长青;景洪伟;匡龙;吴时彬;曹学东;李杰.离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术[J].强激光与粒子束,2012(11):2665-2668.
[6]	李锐钢;郑立功;薛栋林;张学军.大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法[J].光学精密工程,2006(4):533-538.

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