利用双层辉光离子渗金属技术在纯铜表面制备了铜钛合金层.实验结果表明,合金层由以铜钛化合物为主的表层和钛在铜中α固溶体与弥散分布的Cu4Ti有序相的次表层组成.在源极与工件间距固定的条件下,表层成分受源极电压、工件电压和温度的影响,次表层厚度主要受温度和时间影响.在扩渗初期,轰击离子的强度对钛元素有催渗作用.源极电压与工件电压之比V源/V工≥2,气压选在(25～40)Pa有利于铜钛合金层的形成.纯铜渗钛虽可使材料表面强化,但表面电阻明显增大.
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