采用离子束溅射和退火工艺,在K9玻璃基体上制备了氧化钒薄膜,并对其微观形貌及组成进行了研究,还应用脉宽10ns、532nm波长的Nd:YAG激光器对薄膜样品进行了激光损伤阈值的测试.扫描电镜(SEM)分析结果表明,所制备的氧化钒薄膜均匀致密,晶粒平均尺寸约50nm.X射线光电子谱(XPS)分析可知,薄膜中钒的价态为+4价和+5价,薄膜由VO2和V2O5组成.在1Hz多次单点照射的条件下,以刚可见损伤作为判断激光损伤阈值的条件,得到此氧化钒薄膜的激光损伤阈值为21.9mJ/cm2.对刚可见损伤光斑和明显损伤光斑进行了微观分析,探讨了激光损伤原因.
参考文献
| [1] | Morin F J .Oxide which show a metal-insulator transition at the neel temperature[J].Physical Review Letters,1959,3:34-36. |
| [2] | 罗裕基.无机化学丛书[M].北京:科学出版社,1998:224-227. |
| [3] | Case F C .Improved VO2 thin films for infrared switching[J].Applied Optics,1991,30(28):4119-4123. |
| [4] | Chen S.;Yi X.;Ma H.;Wang H.;Tao X.;Chen M.;Ke C. .A novel structural VO2 micro-optical switch[J].Optical and Quantum Electronics,2003(15):1351-1355. |
| [5] | Greenberg C B .Optically switchable thin films:a review[J].Thin Solid Films,1994,251:81-93. |
| [6] | 王宏臣,易新建,陈四海,黄光,李雄伟.氧化钒薄膜的制备及其光电特性研究[J].中国激光,2003(12):1107-1110. |
| [7] | 宁永刚,孙晓泉.二氧化钒薄膜在激光防护上的应用研究[J].红外与激光工程,2005(05):530-534. |
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