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镀层与基体的结合强度是衡量镀层与基体表面结合牢固程度的重要指标,也是其各项性能得以实现的重要前提.采用电镀方法在PI膜上制备了铜(Cu)薄膜,并研究了工艺参数与结合强度的关系.同时,依据Cu薄膜方块电阻随氧化时间的变化情况,得到氧化产物厚度与氧化时间的关系.结果表明:镀层结合强度随着电流密度、温度及pH值的增大均先增加而后逐步减小.在低温下铜薄膜的氧化符合指数规律,高温下符合线性规律,温度越高,铜的氧化速率越快.

参考文献

[1] 曾磊,徐赛生,张立锋,张玮,张卫,汪礼康.集成电路铜互连线脉冲电镀研究[J].半导体技术,2006(05):329-333.
[2] Xinqpu Ye;M De Bonte;Celia J P et al.Role of Over-potential on Texture,Morphology and Ductility of Elec-trodeposited Copper Foils for Printed Board Application[J].Journal of the Electrochemical Society,1992,139(06):1592-1600.
[3] Crousier J;Bimaghra I .Effect of Nickle on Electrodeposi-tion of Copper[J].Journal of Applied Electrochemistry,1993,23(08):775-780.
[4] 罗宇峰,钟澄,张莉,严学俭,李劲,蒋益明.方块电阻法原位表征Cu薄膜氧化反应动力学规律[J].物理学报,2007(11):6722-6726.
[5] Vermoyal JJ;Frichet A;Dessemond L .Contribution to the understanding of the ZrNb(1%)O(0.13%) oxidation mechanism at 500 degrees C in dry air[J].Journal of Nuclear Materials: Materials Aspects of Fission and Fusion,2004(1):31-45.
[6] Lahiri SK.;Heng KW.;Ang L.;Goh LC.;Singh NKW. .Kinetics of oxidation of copper alloy leadframes[J].Microelectronics journal,1998(6):335-341.
[7] 李庆伦,海杰.Fe-Mn合金镀层结合强度的研究[J].材料保护,2000(02):5-6.
[8] 宋博,翁占坤,肖作江,龚晓辉,刘慎中,隋智通.提高铝合金上电镀镍层结合强度的研究[J].表面技术,2003(01):25-27,40.
[9] 冯立明.电镀工艺与设备[M].北京:化学工业出版社,2005
[10] 罗宇峰,钟澄,张莉,严学俭,李劲,蒋益明.纳米铜薄膜氧化反应动力学规律研究[J].化学学报,2007(15):1521-1526.
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