以均苯四甲酸二酐(PMDA)和4,4'-二氨基二苯醚(ODA)为原料,分别采用机械搅拌法与高速砂磨法制备了一系列不同氮化铝(AlN)掺杂量的氮化铝/聚酰亚胺复合薄膜(AlN/PI).测试了复合薄膜的力学性能、热稳定性及电性能,并采用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的断面形貌,系统分析了无机含量以及两种制备方式对复合薄膜各项性能的影响.结果表明:与机械搅拌法制备的薄膜相比,砂磨法制备的薄膜中AlN的粒径更小,分散更均一,且在热分解温度、击穿强度以及拉伸强度上都有所提高.
参考文献
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