采用φ300nm轧机,研究厚度为90 nm坯料的切分道次及切入量,验证切分方案及切分楔形式的正确性,测定力能参数.结果表明:采用纯张力切分方案及选用的流线型切分楔是正确的,在该轧机上坯料的切分宜用四道次.
参考文献
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