应用高温氮气法对不同石英材料进行了羟基去除的实验研究,考察了温度、时间、氮气流量等因素对去除羟基的影响.结果表明采用高温氮气法去除不同石英样品中羟基效果不同,对熔炼石英样品羟基质量分数从139.2×10-6降到小于1.0×10-6,气炼石英单晶片中羟基去除效果不明显.
参考文献
| [1] | 王成遇;陶瑛.玻璃的结构和性质[J].硅酸盐通报,1982(01):24-31. |
| [2] | Weyl W A.The structure and Surface of Silica Glass[J].Journal of Non-Crystalline Solids,1975(19):299-302. |
| [3] | БИ鲍尔塔克斯;薛士蓥.半导体中的扩散[M].北京:科学出版社,1964:105-116. |
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