利用脉冲激光法制备了ZnO:Al透明导电膜.通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析,详细研究了靶材中的化学配比(掺杂比)对膜的透光率和电阻率的影响.结果表明:掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况.从电学分析看出:掺杂比从0.75%增至1.5%过程中,膜的载流子浓度、透光率(在波长大于500nm的范围)和光隙能相应增大.在氧分压强为0Pa(不充氧)、掺杂比为1.5%左右时沉积的膜,其电阻率达到最小,其值为7.1×10-4Ωcm,且在可见光区其透光率超过了90%.
参考文献
[1] | A Kuroyanagi .[J].Japanese Journal of Applied Physics,1989,28:219. |
[2] | S Zafar et al.[J].Journal of Vacuum Science and Technology,1995,A 13(04):2177. |
[3] | T Minami .[J].Japanese Journal of Applied Physics,1984,23(05):280. |
[4] | T Minami .[J].Japanese Journal of Applied Physics,1985,24(10):781. |
[5] | H Sato et al.[J].Thin Solid Films,1994,246:86. |
[6] | J H Hu et al.[J].Journal of Applied Physics,1992,71(02):880. |
[7] | W Tang et al.[J].Thin Solid Films,1994,238:83. |
[8] | Jin Ma et al.[J].Thin Solid Films,1996,279:213. |
[9] | Z G Liu et al.[J].Solid State Communications,1994,91:671. |
[10] | E Buestein .[J].Physical Review,1954,93:632. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分:
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%