ECR-CVD法制备BN薄膜

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基金项目: 国家自然科学基金北京市科技新星计划项目北京市青年科技骨干培养基金北京市自然科学基金

cBN薄膜的CVD制备是一个很受关注的课题.本文研究了ECR-CVD系统的等离子体特性,并在Si(100)衬底上进行了BN薄膜的生长实验,初步获得了cBN含量约为23.8%的BN薄膜;分析了H2在CVD生长cBN中的影响.

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