热丝法化学气相沉积金刚石薄膜系统内, 衬底温度和碳源气体浓度是金刚石薄膜生长最为重要的参数.本文根据传热学基本原理,数值模拟了衬底表面辐照度、温度分布,讨论了衬底热传导等因素对衬底温度分布的影响,探讨了如何改善衬底温度均匀性.结果表明,考虑衬底横向热传导后,衬底表面温度分布均匀性明显优于基于辐射热平衡得到的温度分布,在一定程度上有利于生长大面积薄膜.
参考文献
[1] | W A Yarbrough;R Messier .[J].科学(上海),1990,247:688-696. |
[2] | 彭英才,何宇亮.纳米硅薄膜研究的最新进展[J].稀有金属,1999(01):42-55. |
[3] | 郭晓旭,朱美芳,刘金龙,韩一琴,许怀哲,董宝中,生文君,韩和相.高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究[J].物理学报,1998(09):1542-1547. |
[4] | 马锡英;贺德衍;陈光华 .[J].兰州大学学报(自然科学版),1999,35(01):67-71. |
[5] | M C McMaster;W L Hsu;M E Coltrin;D S.Dandy .[J].Journal of Applied Physics,1994,76(11):7567-7577. |
[6] | 戚学贵;陈则韶;王冠中.热丝化学气相生长金刚石薄膜系统内辐射场与薄膜生长关系研究(待发表[M]. |
[7] | FPIncropera;D P.Eewitt;葛新石;王义方 郭宽良.传热的基本原理[M].合肥:安徽教育出版社,1985 |
[8] | 宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时.大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布[J].材料研究学报,2000(06):609-614. |
[9] | 郭宽良;孔祥谦;陈善年.计算传热学[M].合肥:中国科学技术大学出版社,1998 |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分:
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%