紫外透射型液晶光阀用ZnSxSe1-x薄膜的研究

材料科学与工程学报, 2002, 20(4): 499-503. doi: 10.3969/j.issn.1673-2812.2002.04.008

紫外透射型液晶光阀用ZnSxSe1-x薄膜的研究

沈大可 ^1, , 赵高凌 ^2, , 沈鸽 ^3, , 杜丕一 ^4, , 韩高荣 ^5, , ^6,

1.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

2.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

3.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

4.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

5.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

6.香港科技大学物理系,香港

基金项目: 国家自然科学基金(59910161981) 香港研究资助局资助项目(HKUST35)

关键词：紫外液晶光阀 , 透射型ZnSxSe1-x光敏层 , 光电特性

Study of ZnSxSe1- x Thin Films for Ultraviolet LCLV in Transmission Mode

描述了透射型ZnS,Se1-x光盲紫外液晶光阀的结构和工作原理,并从器件的电学模型出发,着重讨论了整体器件对ZnSxSe1-,光敏层的特殊要求.采用分子束外延技术在ITO石英导电玻璃上制备了不同组分的三元ZnS,Se1-x多晶薄膜,通过控制反应时的生长参数,制备出了符合器件设计要求的光敏层薄膜.室温下,薄膜的紫外/可见光响应对比度大于103,响应波长截止边可通过控制薄膜中的Se组分,在360～410nm范围内连续可调;薄膜的紫外/可见光吸收系数比大于103;在液晶光阀工作的低频段(＜200Hz),其暗阻抗在105～106Ωcm2之间;暗/亮阻抗比满足器件要求.

参考文献

[1]	Efrom U;Grainberg J;Braatz P O et al.The silicon liquid-crystal light valve[J].Journal of Applied Physics,1985,57(04):1356.
[2]	Jared D A;Johnson K M;Moddel G .Joint transfrom correlation using an amorphous silicon ferroelectric liquid crystal spatial light modula tor[J].Optics Communications,1990,76:97.
[3]	Kramer M A;Wetterer C J;Martinez T .One-way imaging through an aberrator with spatially incoherent light by using an optically asd dressed spatial light modulator[J].Applied Optics,1991,30:3319.
[4]	Owechko Y;Soffere B H .Optical neural networks based on liquid crystal light valves and photorefractive crystals[J].SPIE,1991,1455:136.
[5]	Aubourg P;Huignard J P;Hareng M et al.Liquid crystal light valve using bulk monocrystalline Bi12 SiO20 as the photoconductive material[J].Applied Optics,1982,21(20):3706.
[6]	Ashley P R;Davis J H .Amorphous silicon photoconductor in a liquid crystal spatial light modulator[J].Applied Optics,1987,26(02):241.
[7]	Armitage D;Thackara J I;Eades W D .Photoaddressed liquid crystal spatial light modulator[J].Applied Optics,1989,28(22):4763.
[8]	Powles C;Pollock B;Reid S et al.Enhancement of optically ad dressed liquid crystal SIM performance for specific applications by selection of input polarization[J].SPIE,1989,1151:507.
[9]	Armitage D .Sensitivity limiation in photoaddressed liquid crystal spatial light modulators[J].SPIE,1989,1151:485.
[10]	Qiao J M;Hah G R;Du P Y et al.Characterization of a-Si:H and a SiGe:H films in liquid crystal light vales[J].Materials Research Society,1991,219:179.
[11]	Du P Y;Han G R;Qiao J M et al.Investigation of optimal photosen sor in a-Si: H liquid crystal light vales[J].Materials Research Society,1992,258:1175.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网