PLD系统中硅板加热器温度的影响因素

材料科学与工程学报, 2003, 21(5): 731-732. doi: 10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.028

PLD系统中硅板加热器温度的影响因素

彭巨擘 ^1, , 张鹏翔 ^2, , 陈大鹏 ^3, , 张虞澜 ^4, , 朱绍将 ^5, , 王茺 ^6,

1.昆明理工大学光电子新材料研究所,云南,昆明,650093

2.昆明理工大学光电子新材料研究所,云南,昆明,650093

3.昆明理工大学光电子新材料研究所,云南,昆明,650093

4.昆明理工大学光电子新材料研究所,云南,昆明,650093

5.昆明理工大学光电子新材料研究所,云南,昆明,650093

6.昆明理工大学光电子新材料研究所,云南,昆明,650093

关键词： PLD , 硅板加热器 , 衬底 , 真空度

Influence Factors on Temperature of Silicon Heater in PLD System

研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素.通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件,发现:1.硅板上各部分的温度不是均匀分布的;2.衬底放在硅板上时,衬底温度和硅板温度有很大的不同;3.在相同的硅板加热电流下,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化.不细致考虑上述因素时,脉冲激光沉积(PLD)镀膜的质量很难保证.

参考文献

[1]	Takashi;Hase;Hirohiko .patial oxygen pressure effects on the morphology of Y-Ba-Cu-O thin films in laser deposition process[J].Aool Phys,1990,68(01):374-376.
[2]	T Venkatesan;X D Wu;A Inam;J B Wachtman .observation of two distince componenets during pulsed laser depostion of high Tc superconducting films[J].Applied Physics Letters,1988,52(14):1193-1195.
[3]	ZHANG Peng-xiang,Li Guo-zhen.Room Temperature Light-Thermo-Detector Made of High-Tc Superconductor[J].ACTA PHYSICA SINICA,1998(11):810-816.
[4]	吴锦雷.几种新型薄膜材料[M].北京:北京大学出版社,1999
[5]	P X Zhang et al.[J].Applied Physics Letters,2002,81:4026.
[6]	张鹏翔,文小明,顾梅梅,张国勇.YBa2Cu3O7-δ薄膜激光功率计[J].中国激光,2002(03):205-208.

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