疏水型纳米SiO2增透薄膜的制备与性能研究

材料科学与工程学报, 2004, 22(4): 502-504. doi: 10.3969/j.issn.1673-2812.2004.04.008

疏水型纳米SiO2增透薄膜的制备与性能研究

姚兰芳 ^1, , 解德滨 ^2, , 肖轶群 ^3, , 沈军 ^4, , 吴广明 ^5, , 王珏 ^6,

1.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092;上海理工大学,理学院物理系,上海,200093

2.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

3.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

4.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

5.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

6.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

基金项目: 上海市科委国际合作项目(02SL001) 国家自然科学基金(20133040) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA842052)

关键词：溶胶-凝胶 , 疏水 , 增透 , 表面修饰

Study of the Preparation and Properties of Nano-structure Hydrophobic and Anti-reflective Silica Films

采用溶胶-凝胶技术,以正硅酸乙酯(TEOS)为有机醇盐前驱体,无水乙醇(EtOH)为溶剂,在碱催化体系中通过选择合适的原料的比例,制得碱性的增透膜,然后对所得的薄膜进行表面修饰,制得既有增透性质又有疏水性的增透膜,克服了增透膜防潮性能差的缺点.采用椭偏仪、傅立叶型红外分光光度计、UV-VIS-NIR分光光度计和接触角测试仪对膜的折射率、厚度、红外特性、透过光谱、接触角进行表征.

参考文献

[1]	L.M. Thomas .High power laser damage threshold porous silica antireflective coating[J].Applied Optics,1986,25(09):1481-1483.
[2]	FlochHG .Sol-gelopticalcoatingsforlasersⅢ[J].American Ceramic Society Bulletin,1995,74(12)
[3]	SermonPA;Vong M S W et al.Recentdevelopmentsinsilicasolgelanti-reflectionARcoatings[J].SPIE,1995,2633:464-474.
[4]	ThomasIM .Methodforthepreparationofporoussilicaantireflectioncoatingsvaryinginrefractiveindexfrom122to144[J].Applied Optics,1992,31(28):6145-6149.
[5]	FlochHG;Belleville P F .Ascratch-resistantsingle-layerantireflectivecoatingbyalowtemperaturesol-gelroute[J].SPIE,1992,1758:135-149.
[6]	WuGuangming;Wang Jue Shen Jun;Qingyuan Zhang .[J].Journal of Physics D:Applied Physics,2001,34:1301-1307.
[7]	Hee-SunYang;Se-Young Choi;Sang-Hoon Hyun;Hyung-Ho Park Jung-Kyun Hong Hyung-Ho Park, Jung-Kyun Hong .Ambient-driedlowdielelctricSiO2aerogelthinfilm[J].Journal of Non-Crystalline Solids,1997,221:151-156.

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