为了提高石英玻璃的磨削去除效率与加工质量,本文基于石英玻璃化学机械磨削原理,开发了石英玻璃高效精密专用水基磨削液.此专用磨削液在水基冷却液基础上分别添加了具有化学改性、冷却、润滑和防锈性能的添加剂,通过正交实验法分析了不同添加剂对石英玻璃表面粗糙度的影响,在此基础上确定了各添加剂的最优成分配比组合.利用开发的专用磨削液与市售磨削液分别对石英玻璃进行磨削实验,实验结果表明,开发的专用磨削液可提高石英玻璃材料的表面加工质量,其磨削性能要优于市售磨削液,能实现石英玻璃高效精密化学磨削.
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