蒸发电流对CdSe薄膜的结晶性能影响研究

人工晶体学报, 2016, 45(10): 2436-2440.

蒸发电流对CdSe薄膜的结晶性能影响研究

裴传奇 ^1, , 张敏 ^2, , 张志勇 ^3, , 杨辉 ^4, , 刘其娅 ^5, , 曾体贤 ^6,

1.西华师范大学物理与空间科学学院,南充,637002

2.西华师范大学物理与空间科学学院,南充,637002

3.中国科学院国家天文台,北京,100012

4.西华师范大学物理与空间科学学院,南充,637002

5.西华师范大学物理与空间科学学院,南充,637002

6.西华师范大学物理与空间科学学院,南充,637002

基金项目: 四川省科技厅应用基础项目(2014JY0133) 中国科学院太阳活动重点实验室开放课题(KLSA201514)

关键词： CdSe薄膜 , 热蒸发 , 蒸发电流 , 结晶

Effect of Evaporation Current on the Crystallization Properties of CdSe Thin Films

Keywords： CdSe thin film , thermal evaporation , evaporation current , crystallization

采用真空热蒸发技术,选取系列蒸发电流在光学玻璃基底上制备出CdSe薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和原子力显微镜对样品的结构和表面形貌进行了表征.结果显示:蒸发电流为75 A时,CdSe薄膜沿(002)方向择优生长,衍射峰较强,半峰宽较小,晶粒(约48 nm)分布较均匀,表面粗糙度低(5.58 nm),无裂纹.蒸发电流不改变薄膜的结晶取向,但电流过低时,薄膜的表面颗粒轮廓模糊且有间隙,结晶性差;电流高于75 A时,随电流升高,薄膜结晶性逐步降低,颗粒变小,半峰宽变大,部分样品表面晶粒生长不完整,表面出现裂纹.

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Effect of Evaporation Current on the Crystallization Properties of CdSe Thin Films

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