CdGeAs2晶体的表面XPS表征及表面损伤层测定

稀有金属, 2015, 44(4): 844-847.

CdGeAs2晶体的表面XPS表征及表面损伤层测定

李佳伟 ^1, , 朱世富 ^2, , 赵北君 ^3, , 何知宇 ^4, , 陈宝军 ^5,

1.四川大学,四川成都,610064

2.四川大学,四川成都,610064

3.四川大学,四川成都,610064

4.四川大学,四川成都,610064

5.四川大学,四川成都,610064

基金项目: National Natural Science Foundation of China (50732005) National High Technology Research and Development Program of China (2007AA03Z443)

关键词：非线性材料 , CdGeAs2 , XPS , XRD回摆曲线 , 表面损伤层

XPS Analysis and Determination of Surface Damage Layer of CdGeAs2 Single Crystal

Keywords： nonlinear optical materials , CdGeAs2 , X-ray rocking curve , surface damage layer ,

采用改进的布里奇曼法生长出尺寸为Φ15 mm×45 mm,外观完整无开裂的CdGeAs2单晶体.为了提高器件的使用性能,需要对晶体进行表面处理,主要对CdGeAs2晶片表面的抛光技术进行了研究.通过对解理面切割分析得到(101)晶面,机械抛光后进行了XPS分析.对该晶面采用溴甲醇溶液进行腐蚀抛光,采用XRD回摆及光学显微镜对不同抛光时间的试样进行观测.结果表明,CGA晶体的(101)晶面在常温下采用溴甲醇溶液腐蚀50 s后,晶片表面光滑无划痕,并且具有半峰宽较小的回摆曲线,同时计算得到CdGeAs2晶体的表面损伤层厚度.

参考文献

[1]	Feigelson RS .Improving optical transparency in CdGeAs2 crystals by controlling crystalline defects[J].Journal of Crystal Growth,2006(2):179-187.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网