Li和Ti共掺NiO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其介电性能

功能材料, 2006, 37(8): 1226-1228.

Li和Ti共掺NiO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其介电性能

董燕 ^1, , 张波萍 ^2, , 张雅茹 ^3, , 李向阳 ^4,

1.北京科技大学,材料科学与工程学院无机非金属系,北京,100083

2.北京科技大学,材料科学与工程学院无机非金属系,北京,100083

3.北京科技大学,材料科学与工程学院无机非金属系,北京,100083

4.钢铁研究总院,北京,100081

基金项目: 新世纪优秀人才支持计划(NCET-04-0105) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2003AA302120)

关键词： NiO薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 介电常数 , Li和Ti掺杂

Sol-gel fabrication and dielectric properties of Li and Ti doped NiO thin films

采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2(1mm)/Si基板上制备了Li和Ti共掺NiO基新型无铅介电薄膜材料,研究了薄膜的形貌、结构、介电性能.结果表明,热分解温度(300～500℃)对薄膜结构影响不明显,经600～800℃退火后的薄膜由NiO与Li-Ni-O复合氧化伆组成;经300℃热分解处理、650℃退火后的薄膜,其表面均匀致密,膜厚约300nm,室温下100Hz时的介电常数为767,当频率高于3000Hz后,介电常数随频率的增加趋于减小.

参考文献

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