研究了在碳含量不同的钢基体上化学气相沉积TiN的沉积速率.研究结果表明,随着钢中碳含量的提高,沉积速率呈线性增长,涂层硬度也随碳含量的增加而提高.基于铁的触媒作用,推导出TiN的沉积速率方程为V=h1+K1×x(C);对于碳含量较高的Cr12MoV钢和碳含量较低的20钢基体,测得TiN沉积表面过程表观活化能分别为165.11kJ/mol和120.38kJ/mol.钢中合金元素对TiN沉积速率的影响可忽略.
参考文献
| [1] | 刘江南.金属表面工程学[M].北京:兵器工业出版社,1995 |
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| [4] | Munster A;Ruppert W .[J].Die Naturwissenschaften,1952,39:349. |
| [5] | 王旷;罗经源.物理化学[M].北京:冶金工业出版社,1982 |
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