等离子体清洗工艺对镁基金属表面形貌及膜／基结合强度的影响

功能材料, 2011, 42(6): 1127-1133.

等离子体清洗工艺对镁基金属表面形貌及膜／基结合强度的影响

梁戈 ^1, , 李洪涛 ^2, , 蒋百灵 ^3, , 吴文文 ^4, , 张红军 ^5, , 杨平 ^6,

1.西安理工大学材料学院,陕西,西安,710048

2.西安理工大学材料学院,陕西,西安,710048

3.西安理工大学材料学院,陕西,西安,710048

4.西安理工大学材料学院,陕西,西安,710048

5.陕西斯瑞工业有限责任公司靶材事业部,陕西,西安,710077

6.陕西斯瑞工业有限责任公司靶材事业部,陕西,西安,710077

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA33H010)

关键词：等离子体清洗 , 镁合金 , 表面形貌 , 结合强度

Effect of plasma cleaning process on the surface morphology and adhesion strength of Mg alloy substrate

采用不同等离子体清洗工艺对镁基金属样品进行清洗,随后磁控溅射沉积纯Cr镀层.利用SEM、划痕仪分析了不同等离子体清洗工艺下镁基金属的表面形貌与膜／基结合强度的变化.结果表明,过高的清洗偏压作用下,基体表面会产生深径比＞0.5的孔洞状结构缺陷;过长清洗时间后,离子轰击产生的能量积淀效应使基体表面温升显著,局部区域出现熔融、烧结现象,二者均使后续沉积镀层结合强度变低.

参考文献

[1]	蒋百灵,张淑芬,吴国建.镁合金微弧氧化陶瓷层耐蚀性的研究[J].中国腐蚀与防护学报,2002(05):300-303.
[2]	杨巍,蒋百灵,时惠英,鲜林云.镁合金微弧电泳复合膜层的微观结构和抗腐蚀性能[J].材料研究学报,2009(04):421-425.
[3]	Kelly P J;Arnell R D .[J].VACUUM,2000,56:159-172.
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[6]	Arnell R D;Kelly P J;Musil J .[J].Surface and Coatings Technology,1999,112:170-176.
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