通过丙烯酸与多官能环氧树脂反应合成官能化环氧树脂,利用官能化环氧树脂对由环氧氯丙烷和1,2,4-偏苯三甲酸酐合成的超支化碱溶性聚酯进行改性,得到官能化环氧树脂改性超支化碱溶性聚酯;研究了树脂的组成对感光性和碱溶性的影响;树脂的E0可达到4.80 mJ/cm2,反差γ可达到2.54.结果表明,由于特殊的三维球形结构,使得超支化聚合物在光致抗蚀剂中具有应用前景.
参考文献
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