利用溶胶-凝胶技术制备了TiO2氧敏薄膜,通过氧化物掺杂和贵金属的表面修饰,在空气气氛下烧结氧敏薄膜.结果表明:600℃～800℃下处理的薄膜是以金红石为主晶相及少量锐钛矿的混合晶型,随着温度升高锐钛矿减少,900℃时锐钛矿相的峰基本消失;800℃下处理的薄膜灵敏度明显高于600℃和900℃下处理的薄膜灵敏度.W,Ce氧化物掺杂促进TiO2薄膜微量氧化还原,增加催化反应活性,使薄膜的氧气灵敏度有明显提高;以Pd对W-TiO2薄膜进行表面修饰,使薄膜的阻温特性得到了明显提高.
参考文献
| [1] | Takeuchi T;Igarashi I .Oxide Semiconductor Oxygen Sensors[J].Automobile Technology,1983,37(11):1211-1216. |
| [2] | 丁爱军;徐毓龙 .Study on Pt/TiO2Thick Film of Oxygen Sensor Elements[J].电子元件与材料,1994,13(02):43-45. |
| [3] | Kodon H;Saji K;Takahash H et al.Thin Film Air-Fuel Sensor[J].Sensors and Actuators B-Chemical,1993,13-14:49-52. |
| [4] | 谢少桥.宽工作温度范围A/F控制用TiO2薄膜型氧传感器的研究[M].天津:天津大学出版社,1999 |
| [5] | Zheng Liaoying;Xu Mingxia;Xu Tingxian .TiO2-x Thin Film as Oxygen Sensor[J].Sensors and Actuators B:Chemical,2000,66:28-30. |
| [6] | 郑嘹赢,徐明霞,徐廷献.掺铂TiO2-x氧敏薄膜的制备和性能[J].半导体学报,1999(11):1022. |
| [7] | 清山哲郎.金属氧化物及其催化作用[M].北京:中国科学技术出版社,1989:8. |
| [8] | 杜海燕;徐明霞;徐廷献 .Foemation and Growing of TiO2 Nanometer Thin Film on Al2O3 Substrate[J].稀有金属材料与工程,2002,31(01):349-352. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%