取向PT薄膜的溶胶-凝胶法制备及其对PST薄膜的取向诱导

稀有金属材料与工程, 2008, 37(z2): 120-123.

取向PT薄膜的溶胶-凝胶法制备及其对PST薄膜的取向诱导

陈敬峰 ^1, , 杜丕一 ^2, , 覃莹 ^3, , 韩高荣 ^4, , 翁文剑 ^5,

1.浙江大学,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

2.浙江大学,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

3.浙江大学,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

4.浙江大学,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

5.浙江大学,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

基金项目: 国家自然科学基金(50372057) 国家自然科学基金(50332030)

关键词：钛酸铅 , 薄膜 , 取向生长 , 诱导层

Preparation of PT Film Used as a Seed Layer to Fabricate Oriented PST Thin Films

采用溶胶-凝胶工艺,以TbCl3作为掺杂剂,在无规取向的ITO透明导电玻璃基板上成功地制备了高度择优取向的PbTiO3(PT)铁电薄膜.通过对不同前驱溶液浓度、热处理工艺、热处理时间和温度制备的PT薄膜样品的XRD图谱进行分析,得出了较为优化的制备工艺,并在此基础上溅射沉积出具有明显择优取向特征的PST薄膜.很明显,以取向PT作为诱导层,可以得到择优取向的PST薄膜材料.

参考文献

[1]	Basceri Cem;Streiffer S K;Kingon Angus I et al.[J].Journal of Applied Physics,1997,82:2497.
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[7]	Zeng Jianming;Wang Hong et al.[J].Thin Solid Films,1998,322:104.
[8]	Du Piyi;Tang Liwen;Zhao Xiaohui et al.[J].Surface and Coatings Technology,2005,198:395.
[9]	刘远良,杜丕一,翁文剑,韩高荣,沈鸽.热处理条件对sol-gel法Pb0.4Sr0.6TiO3薄膜形成影响的研究[J].无机材料学报,2005(01):151-157.

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