以金属钽层作为钛阳极的中间层可提高阳极的使用寿命,而热分解法制备涂层操作方便、工艺简单且成本低.考察了五氯化钽正丁醇溶液在氮气(≥99.99%)中的热分解过程,并以五氯化钽正丁醇溶液为先驱体,在氩气(≥99.99%)中采用涂覆烧结的热分解法在钛基体上制备了含钽涂层,考察了热分解温度、涂覆次数对涂层表面形貌、相结构和结合力的影响.结果表明:五氯化钽正丁醇溶液在300℃时已基本分解完全,热分解最终产物含钽、氧和少量残余的氯,采用高纯惰性气氛可减少钽的氧化;钛基上含钽涂层表面呈龟裂状;涂层的相结构受烧结温度和涂覆次数的影响,主要为Ta,TaO2或Ta,TaO2,Ta2O5;热分解温度对涂层结合力的影响较大,而涂层厚度对结合力的影响相对较小.
参考文献
| [1] | Ensinger W .Ion beam sputter coating of tantalum tube inner walls for protection against hydrogen embrittlement[J].Surface and Coatings Technology,1996,84:434-438. |
| [2] | Laurila T;Zeng K;Kivilahti J K et al.Tantalum carbide and nitride diffusion barriers for Cu metallization[J].Microelectronic Engineering,2002,60:71-80. |
| [3] | Miyaza T;Kim HM;Kokubo T;Ohtsuki C;Kato H;Nakamura T .Mechanism of bonelike apatite formation on bioactive tantalum metal in a simulated body fluid.[J].Biomaterials,2002(3):827-832. |
| [4] | 鞠鹤,潘会波,陈风云.钽处理对钛基IrO2电极组织及放氧行为的影响[J].稀有金属材料与工程,1993(01):59-62. |
| [5] | F. Cardarelli;P. Taxil;A. Savall;Ch. Comninellis;G. Manoli;O. Leclerc .Preparation of oxygen evolving electrodes with long service life under extreme conditions[J].Journal of Applied Electrochemistry,1998(3):245-250. |
| [6] | 蒋驰,周晋林,张鹏程,肖云峰,税毅,王术刚,刘春荣,刘清和.等离子喷涂参数对钽涂层组织及性能的影响[J].材料保护,2002(08):27-28,31. |
| [7] | 潘建跃,孙凤梅,罗启富.钛阳极磁控溅射钽的工艺研究[J].材料保护,2004(10):26-28. |
| [8] | Hu JM.;Zhang HQ.;Cao CN. .Thermolytic formation and microstructure of IrO2+Ta2O5 mixed oxide anodes from chloride precursors[J].Thermochimica Acta: An International Journal Concerned with the Broader Aspects of Thermochemistry and Its Applications to Chemical Problems,2003(2):257-266. |
| [9] | Lee SL.;Doxbeck M.;Mueller J.;Cipollo M.;Cote P. .Texture, structure and phase transformation in sputter beta tantalum coating[J].Surface & Coatings Technology,2004(0):44-51. |
| [10] | 王科,韩严,王均涛,张晓玲,孙玉璞.涂液浓度对Ru-Ti-Ir氧化物阳极涂层性能的影响[J].电化学,2006(01):74-79. |
| [11] | 颜琦.50%IrO2-50%Ta2O5被覆钛阳极涂层的组织结构研究[J].福建工程学院学报,2008(01):21-24. |
| [12] | 李保松,林安,甘复兴.Ti/IrO2-Ta2O5阳极的制备及其析氧电催化性能研究[J].稀有金属材料与工程,2007(02):245-249. |
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