气流量和水分压对金属有机沉积法制备YBa2Cu3O7-δ膜织构及超导性能的影响

低温物理学报 , 2015, 37(1): 1-7.

气流量和水分压对金属有机沉积法制备YBa2Cu3O7-δ膜织构及超导性能的影响

张倩倩 ^1, , 赵苏串 ^2, , 刘志勇 ^3, , 舒刚强 ^4, , 郭艳群 ^5, , 范峰 ^6, , 蔡传兵 ^7,

1.上海大学超导与应用技术中心,上海市上大路99号,200444

2.上海大学超导与应用技术中心,上海市上大路99号,200444

3.上海大学超导与应用技术中心,上海市上大路99号,200444

4.上海大学超导与应用技术中心,上海市上大路99号,200444

5.上海大学超导与应用技术中心,上海市上大路99号,200444

6.上海大学超导与应用技术中心,上海市上大路99号,200444

7.上海大学超导与应用技术中心,上海市上大路99号,200444

基金项目: Project supported by the Science and Technology Commission of Shanghai Municipality (Grant Nos.11dz1100300,13dz1102302),the National Natural Science Foundation of China (Grant No.11174193),the Ministry of Science and Technology of China (973 Projects) (Grant No.2011CBA00105).上海市科委(批准号:11dz1100300,13dz1102302),国家自然科学基金(批准号:11174193,51202141),国家科技部(973计划)(批准号:2011CB605902)资助的课题.

关键词： TFA-MOD , DEA , 气流量 , 水分压

INFLUENCE OF GAS FLOW AND WATER PRESSURE ON MICROSTRUCTURE AND SUPERCONDUCTING PROPERTIES OF METAL ORGANIC DEPOSITION YBa2CU3O7-δ FILMS

Keywords： TFA-MOD , DEA , Gas Flow , Water pressure

气流量和水分压是影响添加DEA的三氟乙酸-金属有机沉积(TFA-MOD)法制备YBa2Cu3O7-δ(YBCO)膜织构及超导性能的两个重要参数.本文详细的研究了这两个参数对YBCO膜织构及超导性能的影响.在保证其他参数条件不变的情况下,气流量和水分压的变化范围分别为0.5～2.0 L/min和2.3～7.3％.气流量在0.5 L/min到2.0 L/min变化范围内均可获得优良的工艺过程;同时水分压在3.7～5.3％的变化范围内(对应适当的生长速率)时可观察到织构良好,表面致密,超导性能优良的YBCO膜.较低或较高的水分压会导致a轴取向的显著增多.最终,本文将气流量和水分压两个工艺参数对YBCO膜的交叉影响绘制成相图.结果表明,过高或过低的生长速率会导致更多的a轴取向成核.

参考文献

[1]	Teranishi R.;Matsuda J.;Nakaoka K.;Izumi T.;Shiohara Y.;Mori N.;Mukaida M. .High Production Rate Process of YBCO Coated Conductors by TFA-MOD Process[J].IEEE Transactions on Applied Superconductivity: A Publication of the IEEE Superconductivity Committee,2007(2):3317-3320.
[2]	Chen, H;Zalamova, K;Pomar, A;Granados, X;Puig, T;Obradors, X .Nucleation and growth rate influence on microstructure and critical currents of TFA-YBa2Cu3O7 under low-pressure conditions[J].Journal of Materials Research,2010(12):2371-2379.

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