用脉冲激光沉积(PLD)法在Si(100)基片上制备金属Mo薄膜,研究薄膜结晶性能与能量密度之间的关系,探讨薄膜生长机制和粒子能量在薄膜生长中的作用.原子力显微镜(AFM)图像显示,薄膜表面平整、光滑,均方根粗糙度小于2 nm.X射线衍射(XRD)分析表明,随着能量密度的增加,Mo薄膜衍射峰宽变窄,薄膜从非晶态逐步变为多晶态,晶粒尺寸逐步变大.
参考文献
| [1] | Walker A B C;Lindblom J;Barbee T W et al.[J].Science,1988,241(4874):1781. |
| [2] | Shealy D L;Hoover R B;Walker A B C .[J].SPIE,1989,1160:109. |
| [3] | Ceglio N M;Gaines D;Trebes J et al.[J].Applied Optics,1988,27:5022. |
| [4] | Kinoshito H et al.[J].Journal of Vacuum Science and Technology B,1989,B7(06):1648. |
| [5] | 齐红基,易葵,贺洪波,邵建达.溅射粒子能量对金属Mo薄膜表面特性的影响[J].物理学报,2004(12):4398-4404. |
| [6] | 秦俊林;易葵;邵建达 .[J].功能材料与器件学报,2006,12(02):81. |
| [7] | Montcalm C;Grabner R F;Hudyms R M et al.[J].SPIE,1999,3676:710. |
| [8] | 王占山,高宏刚,马月英,吕俊霞,曹健林.软X射线多层膜技术[J].原子能科学技术,1999(04):337-339. |
| [9] | 薛铨芝;林纪宁;Verhoeven J .[J].真空科学与技术,1994,14(02):114. |
| [10] | 秦俊林;邵建达;易葵 et al.[J].强激光与粒子束,2007,19(05):763. |
| [11] | Weaver I.;MacPhee AG.;Warwick PJ.;Jordan R.;Lunney JG.;Lewis CLS. .PLD fabrication of a soft X-ray multilayer mirror and LPP reflectance test[J].Applied Surface Science: A Journal Devoted to the Properties of Interfaces in Relation to the Synthesis and Behaviour of Materials,1998(0):915-921. |
| [12] | 陈同来,李效民,张霞,高相东,于伟东.脉冲激光法淀积MgO薄膜及其结晶性能的研究[J].无机材料学报,2005(06):1475-1480. |
| [13] | 吴卫东,许华,魏胜,唐永建,陈正豪.脉冲激光气相沉积技术及其在ICF薄膜靶制备中的应用[J].强激光与粒子束,2002(06):873-876. |
| [14] | 薛增强;吴全德;李洁.薄膜物理[M].北京:电子工业出版社,1991:110. |
| [15] | 魏合林,刘祖黎,姚凯伦.超薄膜生长的Monte-Carlo研究[J].物理学报,2000(04):791-798. |
| [16] | 陈敏,魏合林,刘祖黎,姚凯伦.沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响[J].物理学报,2001(12):2446-2451. |
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