研究了Mo、Co、Nb等元素离子注入及薄膜沉积方法对TiN薄膜性能的影响.采用SRV磨损实验、表面形貌轮廓等方法研究分析了离子注入对TiN薄膜的摩擦系数、耐磨性能、显微硬度的影响规律.实验结果表明:磁过滤电弧镀的TiN薄膜的摩擦系数曲线与常规电弧镀TiN薄膜的摩擦系数曲线相差很大,且耐磨性能优于电弧镀TiN薄膜.采用离子注入町降低TiN薄膜的摩擦系数.在5N载荷磨损条件下,随注入剂最和注入元素的不同其摩擦系数变化较大.在30N载荷磨损条件下,样品摩擦系数均接近0.5.离子注入Mo、Co、Nb均可显著提高TiN薄膜的耐磨性,其巾注入Mo的试样耐磨性最好.
参考文献
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| [4] | 吴虎城,张德坤,李伟,陈立奇.碳离子注入前后硅片的微动磨损行为研究[J].润滑与密封,2008(04):30-32. |
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