Ti/IrO_2-Ta_2O_5氧化物阳极涂层厚度的X射线荧光法测定

材料保护, 2010, 43(2): 67-69.

Ti/IrO_2-Ta_2O_5氧化物阳极涂层厚度的X射线荧光法测定

张惠 ^1, , 许立坤 ^2, , 侯文涛 ^3, , 辛永磊 ^4, , 王均涛 ^5,

1.山东大学化学与化工学院,山东,济南,250100;中国船舶重工集团公司第七二五研究所,海洋腐蚀与防护国防科技重点实验室,山东,青岛,266071

2.中国船舶重工集团公司第七二五研究所,海洋腐蚀与防护国防科技重点实验室,山东,青岛,266071

3.山东大学化学与化工学院,山东,济南,250100

4.中国船舶重工集团公司第七二五研究所,海洋腐蚀与防护国防科技重点实验室,山东,青岛,266071

5.中国船舶重工集团公司第七二五研究所,海洋腐蚀与防护国防科技重点实验室,山东,青岛,266071

关键词： X射线荧光 , IrO_2 , Ta_2O_5 , 氧化物阳极 , 厚度测量

Determination of Thickness of Ti/IrO_2-Ta_2O_5 Oxide Anode Coating by X-Ray Fluorescence

ZHANG Hui ^1, , XU Li-kun ^2, , HOU Wen-tao ^3, , XIN Yong-lei ^4, , WANG Jun-tao ^5,

1.山东大学化学与化工学院,山东,济南,250100;中国船舶重工集团公司第七二五研究所,海洋腐蚀与防护国防科技重点实验室,山东,青岛,266071

2.中国船舶重工集团公司第七二五研究所,海洋腐蚀与防护国防科技重点实验室,山东,青岛,266071

3.山东大学化学与化工学院,山东,济南,250100

4.中国船舶重工集团公司第七二五研究所,海洋腐蚀与防护国防科技重点实验室,山东,青岛,266071

5.中国船舶重工集团公司第七二五研究所,海洋腐蚀与防护国防科技重点实验室,山东,青岛,266071

Keywords： X-ray fluorescence , IrO_2 , Ta_2O_5 , oxide anode , determination of thickness

常规的光学显微镜和扫描电镜(SEM)检测为破坏性检测,且测量时间长,不便于现场应用于涂层厚度的测量.为此,制备了X射线荧光法(XRF)测量Ti/IrO_2-Ta_2O_5涂层厚度所需的校正标样,采用XRF测量了涂层的厚度,并与SEM测量的涂层厚度进行比较.结果表明:标样的涂层厚度和组分分布均匀;XRF测试中发射法比吸收法的灵敏度高,偏差小;XRF的测量结果与SEM的相近,偏差小,可靠度高.

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