VO2薄膜的研究和应用进展

材料导报, 2003, 17(z1): 214-217.

VO2薄膜的研究和应用进展

张弛 ^1, , 刘梅冬 ^2, , 曾亦可 ^3, , 刘少波 ^4, , 黄焱球 ^5,

1.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074

2.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074

3.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074

4.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074

5.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074

基金项目: 国家自然科学基金(90201028)

关键词： VO2薄膜 , 制备工艺 , 热处理 , 非制冷红外焦平面 , 光阀 , 激光器反射镜

VO2 Thin Film:Developments in Research and Application

综述了VO2薄膜的制备工艺,着重探讨了热处理工艺和条件对其性能的影响,并介绍了它的最新应用情况.

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