Ga2O3薄膜材料氧敏性能的研究

稀有金属材料与工程, 2005, 34(z2): 875-877.

Ga2O3薄膜材料氧敏性能的研究

侯峰 ^1, , 王科伟 ^2, , 徐廷献 ^3, , 徐明霞 ^4,

1.天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072

2.天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072

3.天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072

4.天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072

基金项目: 国家自然科学基金(599955206) 中国科学院资助项目(50072014)

关键词：溶胶-凝胶法 , Ga2O3薄膜 , 氧敏性能

Study on the Oxygen Sensing Properties of Ga2O3 Thin Film

实验以三氯化镓为原料,柠檬酸为络合剂,通过NH3·H2O调节pH值,得到透明稳定的前躯体溶胶,红外光谱分析表明上述溶胶在向凝胶转变过程中,发生镓与柠檬酸的络合,并在干燥过程中依靠氢键形成大分子聚合物.采用提拉涂覆溶胶-凝胶法在多晶氧化铝基片表面形成凝胶膜后,经800℃下热处理,凝胶膜转化为单斜相β-氧化镓陶瓷薄膜.重复镀膜和热处理及超声清洗过程8个～10个周期,最后在800℃下烧结,保温1h,得到粒径为50nm～100nm左右的多孔纳米薄膜.采用自制系统检测β-Ga2O3薄膜的氧敏性能,结果表明:Fe掺杂的氧化镓薄膜材料,在400℃～800℃范围内,在理论空燃比附近,电阻突变幅度大于2个数量级,具有较高的灵敏度.

参考文献

[1]	Sbervegliert G .[J].Sensors and Actuators B-Chemical,1995,23:103.
[2]	Zakrewska K .[J].Thin Solid Films,2001,391:229.
[3]	Li Yongxiang et al.[J].Sensors and Actuators B:Chemical,2003,93:431.
[4]	Fleisher M et al.[J].Sensors and Actuators B-Chemical,1995,26-27:85.

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