SiO2基底表面VO2薄膜的生长模式及相变性能分析

稀有金属材料与工程, 2014, 43(8): 1955-1958.

SiO2基底表面VO2薄膜的生长模式及相变性能分析

岳芳 ^1, , 黄婉霞 ^2, , 施奇武 ^3, , 邓贤进 ^4, , 王成 ^5, , 张敬雨 ^6, , 李丹霞 ^7,

1.四川大学,四川成都610064

2.四川大学,四川成都610064

3.四川大学,四川成都610064

4.中国工程物理研究院,四川绵阳621900

5.中国工程物理研究院,四川绵阳621900

6.四川大学,四川成都610064

7.四川大学,四川成都610064

基金项目: 国家自然科学基金项目(61271075) 中物院-四川大学协同创新联合基金(0082604132225)

关键词：二氧化钒薄膜 , 二氧化硅基底 , 溶胶凝胶 , 微观结构 , 相变性能

Growth Mode of VO2 Film on SiO2 Substrate and Its Phase Transition Property

Keywords： VO2 film , SiO2 substrate , inorganic sol-gel , microstructure , phase transition

采用无机溶胶-凝胶法在二氧化硅基底上制备不同厚度的二氧化钒薄膜,通过X射线光电子能谱、X射线衍射和场发射扫描电子显微镜分析薄膜的化学组成和微观结构,并利用变温傅里叶变换红外光谱对薄膜在红外波段的相变性能进行检测.结果发现:薄膜均沿(110)晶面择优生长;随厚度增加,其结晶度提高,表面晶粒明显增大,大小分布越不均匀,并导致薄膜在红外波段的低温和高温透过率均降低,滞后温宽变窄,相变陡然性增强.

参考文献

[1]	Strelcov, E;Lilach, Y;Kolmakov, A .Gas Sensor Based on Metal-Insulator Transition in VO2 Nanowire Thermistor[J].Nano letters,2009(6):2322-2326.
[2]	魏雄邦,蒋亚东,吴志明,廖家轩,贾宇明,田忠.一种二氧化钒膜的新的生长模式[J].稀有金属材料与工程,2010(z1):289-292.
[3]	王昌雷,田震,邢岐荣,谷建强,刘丰,胡明列,柴路,王清月.硅基VO2纳米薄膜光致绝缘体-金属相变的THz时域频谱研究[J].物理学报,2010(11):7857-7862.
[4]	颜家振,黄婉霞,张月,何鹏,李宁.云母表面不同厚度VO2薄膜的红外光学特性[J].红外与激光工程,2011(07):1305-1309.

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