成功地制备了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品,并对其微观结构进行TEM,HREM及纳米束EDS分析.结果表明,薄膜各层厚度均匀,界面明锐、光滑.Ag层由纳米晶组成,而TiO2和SiO层为非晶.Ag在膜层中没有扩散或聚团,这也正是保证整个薄膜性能指标的一个重要因素.
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