无铅压电陶瓷薄膜的制备及应用研究

功能材料, 2009, 40(5): 705-708.

无铅压电陶瓷薄膜的制备及应用研究

陆雷 ^1, , 肖定全 ^2, , 田建华 ^3, , 朱建国 ^4,

1.四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064;中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900

2.四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064

3.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900

4.四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064

基金项目: 国家自然科学基金(50410179;50772088)

关键词：无铅压电陶瓷薄膜 , 薄膜制备技术 , 薄膜器件

Studies on preparation and applications of lead-free piezoelectric ceramic films

无铅压电陶瓷的制备和应用是过去10年左右国际上研究的热点之一.近年来,由于无铅压电陶瓷薄膜可望在信息、传感、航空、机械、生物、医学等行业获得广泛应用,这类薄膜的制备和应用研究也已引起国际上的关注,并推动着无铅压电陶瓷薄膜材料和制备技术的不断发展.结合作者的研究工作,概括介绍了无铅压电陶瓷薄膜材料的研究进展,包括主要的无铅压电陶瓷薄膜材料;这类薄膜的主要制备方法,特别是射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法和溶胶-凝胶法;以及无铅压电陶瓷薄膜材料可能的器件应用.

参考文献

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