阴极弧离子镀TiCN涂层的SEM-EDS面扫描与线扫描分析

稀有金属材料与工程, 2015, 44(12): 3000-3004.

阴极弧离子镀TiCN涂层的SEM-EDS面扫描与线扫描分析

孔德军 ^1, , 王进春 ^2, , 郭皓元 ^3, , 王文昌 ^4,

1.常州大学,江苏常州213164;江苏省材料表面科学与技术重点实验室,江苏常州213164

2.常州大学,江苏常州,213164

3.常州大学,江苏常州,213164

4.常州大学,江苏常州,213164

基金项目: The Science and Technology Support Project of Jiangsu Province,China (BE2014818)

关键词： TiCN涂层 , SEM-EDS面扫描 , SEM-EDS线扫描 , 结合强度

SEM-EDS Plane Scan and Line Scan Analysis of TiCN Coatings by Cathodic Arc Ion Plating

Keywords： TiCN coating , SEM-EDS plane scan , SEM-EDS line scan , bonding strength

采用阴极弧离子镀在Cr12MoV冷作模具钢表面制备了TiCN涂层,通过扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)分析了涂层表面化学元素的面分布和界面化学元素的线分布.讨论了涂层界面结合机理,用划痕法对结合强度进行了表征分析.结果表明,涂层主要是由TiN、TiC和C原子组成,其中TiN和TiC提高了涂层硬度,C原子改善了涂层摩擦润滑性能;涂层中N原子分数超过C原子分数,界面结合处发生了相互扩散,涂层中C原子扩散量最大,基体中Si原子扩散量最大,涂层与基体形成了冶金结合,利用划痕法测定TiCN涂层结合强度为79.6 N.

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阴极弧离子镀TiCN涂层的SEM-EDS面扫描与线扫描分析

SEM-EDS Plane Scan and Line Scan Analysis of TiCN Coatings by Cathodic Arc Ion Plating

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