金刚石线锯切割大直径SiC单晶

功能材料, 2005, 36(10): 1575-1577.

1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

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基金项目: 国家自然科学基金(60025409) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2001AA311080)

Slicing large-diameter SiC single crystal by using diamond wire saw

采用金刚石线切割大直径的SiC单晶,研究了金刚石线锯的切割机理和切割参数,给出切割SiC单晶的实验结果.研究了金刚石线的寿命及各切割参数对线径减少量、翘曲度、表面粗糙度的影响.用光学显微镜观察了磨损的金刚石线和切割表面.

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