为分析电真空器件表面Ni/Ag镀层在中温排气后失效的原因,通过模拟真实的排气过程,分别对Ni、Ni/Ag和烧结的Ni/Ag 3种试样进行氧化处理.采用热重分析仪、扫描电镜和能谱仪分析了不同试样在处理前后的增重情况、表面形貌和组成.结果表明,Ni/Ag镀层失效的主要原因是中间层镍层发生了氧化,使Ag层和Ni层之间的结合力减弱,最终使Ag层在外力作用下脱落.另外,Ag对氧的富集作用会使Ag层和Ni层之间的氧浓度增大,因此Ag对Ni层的氧化具有促进作用.
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