微桥试验法评价薄膜力学性能的研究

功能材料, 2005, 36(11): 1779-1785.

1.上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与细微技术教育部重点实验室,上海,200030

2.上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与细微技术教育部重点实验室,上海,200030

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5.上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与细微技术教育部重点实验室,上海,200030

6.上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与细微技术教育部重点实验室,上海,200030

基金项目: 中国科学院资助项目(50275096;10402023) 上海市纳米科技专项基金(0215nm4104;0352nm014) 科技部科研项目(G1999033103) 中国博士后科学基金(20040350476)

The investigation of the evaluation of mechanical properties of thin films by microbridge testing

提出了弹性极限和小挠度极限的概念,对微桥在不同长度、厚度以及可能的弹性模量和残余应力范围内的变形行为进行了表征,提出基于弹性、小挠度极限来选择微桥尺度,并确定实验载荷及小挠度范围的方法,解决了微桥样品尺度以及载荷、挠度范围选择的问题.对两组挠度-载荷实验曲线的分析表明了该方法的可行性.

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