氧气流量对MgxZn1-xO薄膜择优取向的影响

人工晶体学报, 2013, 42(3): 437-440.

氧气流量对MgxZn1-xO薄膜择优取向的影响

邵玉坤 ^1, , 韩舜 ^2, , 吕有明 ^3, , 曹培江 ^4, , 柳文军 ^5, , 曾玉祥 ^6, , 贾芳 ^7, , 朱德亮 ^8, , 马晓翠 ^9,

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基金项目: 深圳大学基础研究科研项目(201201) 深圳市特种功能材料重点实验室开放基金(T201205) 国家自然科学基金(60976036) 深圳市科技计划项目

关键词： ZnO , MgZnO , 脉冲激光沉积 , 氧气流量

Influence of Oxygen Flow on the Preferred Orientation of MgxZn1-xO Film

利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响.结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向；在沉积压强8.0Pa时,随着氧气流量的增加,反应粒子的能量降低,不同取向晶粒的生长速率发生变化,导致MgZnO薄膜的生长取向由(200)择优取向转变为(111)择优取向.当氧气流量过大(70 sccm)时,由于氧气分子迁移能的提高,MgZnO薄膜呈现多个不同生长取向.

参考文献

[1]	Ohtomo A.;Koida T.;Masubuchi K.;Koinuma H.;Sakurai Y. Yoshida Y.;Yasuda T.;Segawa Y.;Kawasaki M. .MgxZn1-xO as a II-VI widegap semiconductor alloy[J].Applied physics letters,1998(19):2466-2468.
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[3]	W. Yang;R. D. Vispute;S. Choopun;R. P. Sharma;T. Venkatesan;H. Shen .Ultraviolet photoconductive detector based on epitaxial Mg_(0.34)Zn_(0.66)O thin films[J].Applied physics letters,2001(18):2787-2789.
[4]	Shun Han;Jiying Zhang;Zhenzhong Zhang .Mg_(0.58)Zn_(0.42)O Thin Films on MgO Substrates with MgO Buffer Layer[J].ACS applied materials & interfaces,2010(7):1918-1921.

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