柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究

稀有金属材料与工程, 2007, 36(1): 86-90.

柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究

孙裔 ^1, , 刁训刚 ^2, , 杨盟 ^3, , 武哲 ^4, , 舒远杰 ^5,

1.北京航空航天大学,北京,100083

2.北京航空航天大学,北京,100083

3.北京航空航天大学,北京,100083

4.北京航空航天大学,北京,100083

5.中国工程物理研究院,化工材料研究所,四川,绵阳,621900

基金项目: 中国工程物理研究院"双百"人才基金(2005R0504) 国家自然科学基金(90305026)

关键词：直流磁控溅射 , 柔性衬底 , ITO透明导电薄膜

Study on Electrical and Optical Properties of Flexible Transparent Conductive ITO Film

利用直流磁控溅射方法在柔性聚酯薄膜衬底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,采用X射线衍射、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了氧含量、薄膜厚度、衬底负偏压对ITO薄膜的晶体结构和光电性能的影响,优化了柔性衬底ITO薄膜的制备工艺条件.制得样品的最佳可见光平均透过率为85.6%,方块电阻为6Ω/□.

参考文献

[1]	Stjerna B et al.[J].Applied Optics,1990,29(04):447.
[2]	Honeisel M et al.[J].Physica Status Solidi,1991,A123:461.
[3]	郝晓涛,张德恒,马瑾,杨莺歌,王卿璞,程传福,田茂华,马洪磊.柔性衬底氧化物半导体透明导电膜的研究进展[J].功能材料,2002(04):354-356,359.
[4]	Yang T L et al.[J].Thin Solid Films,1998,326:60.
[5]	许生,侯晓波,范垂祯,赵来,周海军,吴克坚,高文波,颜远全,查良镇.中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀[J].真空,2002(05):15-18.
[6]	陶海华,姚宁,辛荣生,边超,张兵临.ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究[J].郑州大学学报(理学版),2003(04):37-40.
[7]	马颖,张方辉,牟强.ITO膜透明导电玻璃的特性、制备和应用[J].陕西科技大学学报(自然科学版),2003(01):106-109.
[8]	杨志伟,韩圣浩,杨田林,叶丽娜,马洪磊,韩锡贵.柔性衬底ITO膜的性质与制备参数关系的研究[J].太阳能学报,2001(03):256-261.

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