在太阳电池制备工艺中,多晶硅表面常需要进行绒面处理,在各种不同的工艺中,各向同性腐蚀法由于成本低且易于操作而适宜于大规模生产,已成为当前研究的重点.但不同配比的试剂在不同作用时间及工艺下会得到不同的效果,如何科学地评价这些差异,进而得到最佳的工艺参数用于指导生产实践,具有重要的意义.由于各参数间复杂的非线性耦合关系,使得参数的精确确定成为难题.在充分理解遗传算法(Genetic algorithm,GA)作用机理的基础上,以人工神经网络(Artificial neural network,ANN)为辅助手段,以腐蚀速度和光反射率为评价标准,从理论上提出了最佳工艺参数的确定方法,大量多晶硅表面制绒试验已经证明,此方法具有快捷、准确的优点.
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