Eu、Mg共掺ZnO薄膜的微观结构与光致发光性能研究

人工晶体学报, 2015, 44(7): 1794-1798.

Eu、Mg共掺ZnO薄膜的微观结构与光致发光性能研究

季云 ^1, , 史振亮 ^2, , 尹辰辰 ^3, , 郭秀斌 ^4, , 于威 ^5, , 李晓苇 ^6,

1.河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定071002

2.河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定071002

3.河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定071002

4.河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定071002

5.河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定071002

6.河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定071002

基金项目: 河北省自然科学基金(F2013201250) 河北省自然科学基金(E2012201059)

关键词： ZMEO薄膜 , 磁控溅射 , 掺杂比 , 光致发光

Study on Microstructure and Photoluminescence Properties of Eu, Mg Co-Doped ZnO Thin Films

Keywords： ZMEO thin film , magnetron sputtering , doping ratio , photoluminescence

采用射频磁控溅射技术,以不同Eu、Mg掺杂比的ZnO/MgO/Eu2O3陶瓷靶材,制备了Eu、Mg共掺的ZnO薄膜(ZMEO).通过X射线衍射(XRD)、Raman散射及光致发光(PL)技术研究了Eu、Mg掺杂比对ZMEO薄膜微观结构和光致发光性能的影响.结果表明:所制备的ZMEO薄膜皆为六角纤锌矿型结构.适当的Eu、Mg掺杂比不但有利于ZnO晶粒的生长,而且可以引入缺陷俘获导带电子,促进ZnO和Eu3+之间的能量传递,使Eu3+的红光发射强度获得提升.

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