钛阳极氧化膜的半导体特性及腐蚀行为

材料保护, 2011, 44(10): 8-11.

钛阳极氧化膜的半导体特性及腐蚀行为

钱备 ^1, , 李淑英 ^2, , 范洪强 ^3, , 余相仁 ^4, , 张琳 ^5,

1.大连理工大学化工与环境生命学部,辽宁大连116024

2.大连理工大学化工与环境生命学部,辽宁大连116024

3.大连理工大学化工与环境生命学部,辽宁大连116024

4.大连理工大学化工与环境生命学部,辽宁大连116024

5.大连理工大学化工与环境生命学部,辽宁大连116024

关键词：阳极氧化膜 , 钛材 , 半导体特性 , 腐蚀性能

目前，国内外还鲜见有关金属钛阳极氧化膜半导体特性与腐蚀行为的报道。采用极化曲线、交流阻抗和Mott-Schottky曲线研究了TA2硫酸和磷酸阳极氧化膜的腐蚀性能和半导体特性。结果表明：在1％NaCl溶液中，钛阳极氧化膜的自腐蚀电位升高，自腐蚀电流密度降低，耐蚀性能提高；氧化电压对氧化膜的厚度有较大影响；磷酸阳极氧化膜在低频区阻抗更大；2种阳极氧化膜都是n型半导体，磷酸阳极氧化膜的载流子密度较小，平带电位更负。

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