127°径向位置灵敏柱形静电离子能谱仪

原子核物理评论 , 2009, 26(3): 227-230.

127°径向位置灵敏柱形静电离子能谱仪

阮芳芳 ^1, , 于得洋 ^2, , 张明武 ^3, , 王伟 ^4, , 陈婧 ^5, , 邵曹杰 ^6, , 卢荣春 ^7, , 宋张勇 ^8, , 蔡晓红 ^9,

1.中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100049

2.中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000

3.中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100049

4.中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100049

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7.中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000

8.中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000

9.中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000

基金项目: 国家自然科学基金(10775160)

关键词：同轴柱形静电离子能谱仪 , 径向位置灵敏 , 溅射离子能谱

A 127° Radial Position Sensitive Electrostatic Coaxial Cylindrical Spectrometer

针对高电荷态离子与表面作用产生的溅射离子能谱测量,研制了一台127°径向位置灵敏柱形静电离子能谱仪.利用能量为800 keV的Ar8+离子轰击金属铍靶产生的溅射离子测试了本谱仪.测试结果表明,该谱仪克服了传统静电谱仪通过扫描工作电压单能量点取谱的缺点,实现分段取谱--在单个工作电压下可同时获取一段0.85Ec≤E≤1.15Ec范围的能谱,从而提高测量效率.

参考文献

[1]	Hughes A L,Rojansky V.Phys Rev,1929,34:284.
[2]	Arnow M M,Jones D R.Rev Sci Instr,1972,43:72.
[3]	Purcell E M.Phys Rev,1938,54:818.
[4]	Theodoridis G C,Paolini F R.Rev Sci Instr,1969,40:621.
[5]	Decreau P,Prange R,Berthelier J J.Rev Sci Instr,1975,46:995.
[6]	Sar-El H Z.Rev Sci Instr,1967,38:1210.
[7]	Hafner H,Simpson J A,Kuyatt C E.Rev Sci Instr,1968,39:33.
[8]	Aksela S,Karras M,Pessa M,et al.Rev Sci Instr,1970,41:351.
[9]	Sar-El H Z.Rev Sci Instr,1971,42:1601.
[10]	Behrisch Rainer,Eckstein Wolfgang.Sputtering by Particle Bombardment-Experiments and Computer Calculations from Threshold to MeV Energies.Springer Berlin/Heidelberg,2007.

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