交流量热法测量SiO2薄膜的热扩散率

功能材料, 2002, 33(5): 539-541.

1.大连理工大学,电子系,辽宁,大连,116023

2.大连理工大学,电子系,辽宁,大连,116023

3.大连理工大学,电子系,辽宁,大连,116023

基金项目: 国家自然科学基金(59995550-5)

Measurement of thermal diffusivity of SiO2 thin films using AC calorimetric method

介绍了交流量热法测量薄膜热扩散率的原理和系统组建.用脉宽为纳秒级的超短激光脉冲作为热源,测量了Si衬底上厚度为100nm和500nm的SiO2薄膜水平方向上的热扩散率.实验结果表明该结构的热扩散率比SiO2体材料的要小,并且随着SiO2层厚度的减小,热扩散率也减小.

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