部分熔融Ce-Fe合金低温快速抛光CVD金刚石膜

稀有金属材料与工程, 2007, 36(5): 933-936.

部分熔融Ce-Fe合金低温快速抛光CVD金刚石膜

李俊杰 ^1, , 王树彬 ^2, , 孙玉静 ^3, , 田莳 ^4, , 张跃 ^5,

1.北京航空航天大学,北京,100083

2.北京航空航天大学,北京,100083

3.北京航空航天大学,北京,100083

4.北京航空航天大学,北京,100083

5.北京航空航天大学,北京,100083

关键词： Ce-Fe合金 , 低温 , 高效 , 抛光 , CVD金刚石膜

Diamond Films by CVD and High Rate Polishing at Low Temperature with Partially Molten Ce-Fe Alloy

采用溶碳活性很高的稀土金属Ce和过渡金属Fe熔炼出Ce-7%Fe(原子分数,下同)合金,利用该合金对CVD金刚石膜进行热化学抛光.结果表明:Ce-7%Fe合金在592℃就可以抛光金刚石膜,比报道的稀土抛光温度要低200℃以上;在680℃抛光3 h表面粗糙度Ra值由原来的5.95 μm降低到0.69 μm,抛光效率高达30 μm/h; SEM观察表明,抛光使膜的表面光洁度有明显提高;经拉曼光谱检测,抛光没有对金刚石膜造成任何污染.

参考文献

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